M02900 - SEMI M29 - 300 mmシッピングボックスの仕様 Revision:SEMI M29-1296 (Reapproved 1110) - Inactive 本スタンダードは，Global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年5月13日global

本スタンダードは，Global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年5月13日global Audits and Reviews Subcommitteeにて承認された。2009年6月にwww

Depending on the intended application

本基準包含下列章節：

This Test Method covers the measurement of generation lifetime and generation velocity of silicon wafers

M02900 - SEMI M29 - 300 mmシッピングボックスの仕様 Revision:SEMI M29-1296 (Reapproved 1110) - Inactive 本スタンダードは，Global Information & Control Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年5月13日globalGlobal Silicon Wafer CommitteeJapanese Silicon Wafer Committee200388Japanese Regional Standards Committee20039www. semi. org2003111996 IC300 mm Referenced SEMI Standards SEMI E1. 9 Provisional Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 mm Wafers SEMI E57 Provisional Mechanical Specification for Kinematic Couplings Used to Align and Support 300 mm Wafer Carriers