C02800 - SEMI C28 - フッ化ケイ素酸の仕様 Revision:SEMI C28-0306 - Superseded 微粒子の静電気吸着を低減することによる汚染管理では，領域の静電気のリスクは静電気の電荷の存在とレベルによって定義される。

微粒子の静電気吸着を低減することによる汚染管理では，領域の静電気のリスクは静電気の電荷の存在とレベルによって定義される。

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C02800 - SEMI C28 - フッ化ケイ素酸の仕様 Revision:SEMI C28-0306 - Superseded 微粒子の静電気吸着を低減することによる汚染管理では，領域の静電気のリスクは静電気の電荷の存在とレベルによって定義される。global Liquid Chemicals Committee2006116global Audits and Reviews Subcommittee20062www. semi. org20063CD ROM197820057 Referenced SEMI Standards SEMI C1 Guide for the Analysis of Liquid Chemicals